小型標準ドライポンプ KRF

常用真空度：KRF04A：55kPa以下
　　　　　　KRF08A：推奨60kPa以下
　　　　　　　(最高75kPa)

常用排気圧力：KRF04A：50kPa以下
　　　　　　　KRF08A：推奨60kPa以下
　　　　　　　(最高70kPa)

流量：75～155L/min(60Hz)

大型標準ドライポンプ KRF

常用真空度：60kPa(V/B/VB)
常用排気圧力：80kPa以下(VH/BH/VBH)
流量：1350～2220L/min(60Hz)

標準型ドライポンプ KRF

常用真空度：推奨60kPa以下(最高80kPa)
※KRF15Aは最高75kP
常用排気圧力：推奨60kPa以下(最高70kPa)
流量：280～685L/min(60Hz)

6段ルーツ式真空ポンプ CT6-PC

インバータドライ真空ポンプ KCE

0～94kPa

6段ドライルーツ式真空ポンプ FT6

ドライルーツ式真空ポンプ FT4-LE